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一、自动晶圆探针式轮廓仪/台阶仪的功能
通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及光学变焦相机等功能，程序设置简便快速。P-17有用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可支持2D或3D测量。图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。
设备特点
台阶高度：几纳米至1000μm
微力恒力控制：0.03至50mg
样品全直径扫描，无需图像拼接
视频：500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件：简单易用的软件界面
生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化
主要应用
台阶高度：2D和3D台阶高度
纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
形状：2D和3D翘曲和形状
应力：2D和3D薄膜应力
缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
半导体和化合物半导体
LED：发光二极管
太阳能
MEMS：微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
二、应用案例
台阶高度
P-17可以提供纳米级到1000μm的2D和3D台阶高度的测量。这使其能够量化在蚀刻，溅射，SIMS，沉积，旋涂，CMP和其他工艺期间沉积或去除的材料。P-17具有恒力控制功能，无论台阶高度如何都可以动态调整并施加相同的微力。这保证了良好的测量稳定性并且能够测量诸如光刻胶等软性材料。
http://www.natengyiqi.com/Products-36785881.html
https://www.chem17.com/st125795/product_36785881.html
圆探针式台阶仪